真空检漏技术在航天、航空、电子工业、核工业等领域的应用越来越广泛，真空检漏显得十分重要。氦质谱检漏仪通常由真空系统、质谱室及测量电路组成, 其中核心为质谱室。质谱室又由离子源、分析器、收集器三部分组成。
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