真空球阀维修前，解除管线压力并使真空阀门处于打开位置，才能进行拆卸分解操作；防止损伤零件的密封面； 装配时真空法兰上的螺栓必须对称、逐步、均匀地拧紧；真空球阀的新零件在装配前也需要清洗干净；不应有碎屑、纤维、油脂灰尘及其它杂质在真空球阀零件表面或内腔。
真空阀门的清洁处理技术一般指的是真空装置的结构材料、填装材料和真空零(部)件的清洁处理。去除或减少污染物将有利于获得良好真空，增加连接强度和气密性，提高产品的寿命和可靠性。
真空检漏技术在航天、航空、电子工业、核工业等领域的应用越来越广泛，真空检漏显得十分重要。氦质谱检漏仪通常由真空系统、质谱室及测量电路组成, 其中核心为质谱室。质谱室又由离子源、分析器、收集器三部分组成。
