真空泵机组的机械发展
真空泵机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，例如在真空干燥方面。要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是较合适的，但由于其极限真空度不高，致使整个机组的极限真空度较低。真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直至水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。可将气镇机械真空泵与水环泵并联，作为罗茨泵的前级泵。
真空泵机组有如下几种类型：罗茨泵-水环泵：机组中水环泵的作用是造成罗茨泵所需的预备真空，一般情况，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又较高，故实际上一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而用极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，还可以降低机组的极限压力。需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都较少。
真空泵机组的选择方法
真空泵机组以罗茨泵为主泵，<真空水泵机组以罗茨泵为主泵。以旋片泵为前级泵串联而成。其结构紧凑，操作方便。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，应用于需要大抽速和高真空的各种真空系统中。如：真空冶炼，电力电容器，变压器，真空浸渍处理，真空镀膜设备中的预抽等。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才干满足工艺要求。
需要预真空；有的真空泵入口压力低于大气压，真空泵机组有的真空泵不能在大气压下工作。需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，称之为真空泵机组，能使真空系统得到较好的真空度及排气量。应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
真空机组启动前的准备工作
1、检查并确定被抽容器至真空泵进气口的真空管路、法兰完好，各真空阀门处于开启状态，被抽容器上的各阀门应处于关闭状态。
2、确认泵前的真空缓冲罐内无积液，氮压阀门、排空真空阀及底阀均处于关闭状态。
3、检查真空机组内的润滑油液面应在油窗上指示的刻度范围内并确认润滑油清洁。
4、检查确认往真空机组曲轴箱内的润滑油液面在油窗上指示的刻度范围内，曲轴箱内无杂物。
5、向油杯内加入清洁的润滑油并微微启开它们的针阀，使润滑油能一滴一滴地注入气缸中。
真空机组的维护
真空机组在物料的生产过程当中扮演着重要的角色，例如电灯泡的自动生成过程，真空设备构成物的真空处理，真空冶炼等。质量高、抽气速率高的真空机组一般有两部分组成，第一部分是罗茨真空泵，另一部分是它的前级泵。通常情况下，前级泵有水环泵、旋片真空泵等。罗茨真空泵有其固有的优势，它能迅速抽离出被蒸馏出来的气体，速度非常得快。它工作承受面积广，工作时比较稳定，而且质量好，维修成本低，起着其他泵做无法达到的作用。但是它必须有前级泵来为它降低原始工作时的气压。高气压容易让其温度过热而损坏机组本身。
那么，如何对真空机组进行维护呢？这里主要提三点：第一点是在新泵或者是刚修好的泵投入使用前，先进行四到六个小时的试运行。检查机组是否符合要求。第二点是在真空机组使用了两到三年之后要对机组进行保养。对它的工作部件进行清理，对损伤的零件进行修复。第三点是当机组运行过程当中遇到系统性的障碍时，因立即切断真空管道，停止泵的运行。以免造成喷油污染，影响工作环境。
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